深能级瞬态光谱检测（DLTS）-飞时科技（北京）有限公司提供锁相放大器,量子信号测控设备,单光子探测器,信号发生器,精密源,物性测试设备。

深能级瞬态光谱检测（DLTS）

简介：

深能级瞬态光谱检测（DLTS）是一种强大的技术，常用于研究半导体中缺陷的浓度和载流子结合能。该技术涉及在不同温度下测量电容瞬变。首先，通过将半导体结反向偏置，大部分移动电荷载流子会被耗尽。随后，通过正电压脉冲将电压短暂置零，空陷阱被填充。在脉冲结束之后，半导体结会再次处于反向偏置偏置状态。此时电荷的移动就会引起瞬态电容的变化。

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应用说明测量策略产品优势相关产品

应用说明

DLTS是一种强大的技术，常用于研究半导体中缺陷的浓度和载流子结合能。该技术涉及在不同温度下测量电容瞬变。首先，通过将半导体结反向偏置，大部分移动电荷载流子会被耗尽。随后，通过正电压脉冲将电压短暂置零，空陷阱被填充。在脉冲结束之后，半导体结会再次处于反向偏置偏置状态。此时电荷的移动就会引起瞬态电容的变化。

测量策略

您可以使用MFIA阻抗分析仪在长时间间隔内以高分辨率测量完整的电容瞬变过程。如图2所示，使用LabOne^®的绘图仪模块，您可以轻松完成DLTS测量的设置。

MFIA可以在10 μs（1 MHz下）的时间尺度上测量从1 mHz到5 MHz（不仅在1 MHz）范围内的电容瞬变。如图3所示，LabOne^®的数据采集（DAQ）模块可以通过外部脉冲发生器或通过内部产生的偏置脉冲来触发。借助DAQ模块和数据缓冲区，您可以在高时间分辨率和长时间窗口（包括触发事件之前的稳定状态）下可靠地捕获整个瞬态。

MFIA包含的双通道锁定放大器可用于同时捕获电流瞬变和电容瞬变。与电容测量相比。与传统的电容测量相比，DLTS可以在更短的时间内测量电容的变化，但是无法精确测量电容的绝对值。